- Sections
- G - Physique
- G03F - Production par voie photomécanique de surfaces texturées, p.ex. pour l'impression, pour le traitement de dispositifs semi-conducteurs; matériaux à cet effet; originaux à cet effet; appareillages spécialement adaptés à cet effet
- G03F 1/84 - Inspection
Détention brevets de la classe G03F 1/84
Brevets de cette classe: 562
Historique des publications depuis 10 ans
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2015 | 2016 | 2017 | 2018 | 2019 | 2020 | 2021 | 2022 | 2023 | 2024 |
Propriétaires principaux
Proprétaire |
Total
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Cette classe
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Carl Zeiss SMT GmbH | 2646 |
110 |
ASML Netherlands B.V. | 6816 |
67 |
KLA-Tencor Corporation | 2574 |
51 |
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | 36809 |
37 |
Hoya Corporation | 2822 |
30 |
KLA Corporation | 1223 |
28 |
Samsung Electronics Co., Ltd. | 131630 |
20 |
ASML Holding N.V. | 542 |
17 |
NuFlare Technology, Inc. | 770 |
16 |
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 5132 |
12 |
Carl Zeiss SMS Ltd. | 44 |
12 |
LaserTec Corporation | 75 |
9 |
Nikon Corporation | 7162 |
8 |
Bruker Nano, Inc. | 334 |
7 |
Kioxia Corporation | 9847 |
7 |
Applied Materials Israel, Ltd. | 549 |
6 |
Carl Zeiss AG | 855 |
6 |
KLA-Tencor Technologies Corporation | 346 |
6 |
Changxin Memory Technologies, Inc. | 4732 |
6 |
Paul Scherrer Institut | 299 |
5 |
Autres propriétaires | 102 |